Выложу-ка я старую фоточку с эксперимента.
Чистка камеры высокочастотным индуктивным разрядом. Вакуумную камеру подаётся небольшой постоянный потом газа, важно чтобы он был инертным и не с чем не реагировал. Гелий нам вредно для чистоты эксперимента туда запихивать (всё-таки он в стёклах растворим), неон - дорого уже, про ксенон вообще молчу. А вот аргон в самый раз. Дальше на широкий проводник подаётся высокочастотный ток, он создаёт индуктивность которая возбуждает электроны в атомах аргона. Ну а когда они сбрасывают возбуждение - вылетает фотончик, потому и светится. Ну а сами молекулы из-за всего этого дико копошатся и бьют по стенкам, тем самым сбивая оттуда весь мусор типа воды, молекул разного газа и т.д.
Пара картинок.